平台简介
    

上海市非硅规模制造技术创新服务平台


上海市非硅规模制造技术创新服务平台是微纳规模制造技术创新服务平台的一部分,针对生物医药产业新兴技术和传统产业技术改造的多方面需求,突破以金属基材料为主的通用微纳结构成型方法和生物兼容材料微加工关键工艺的规模化制造技术,完善设备配套,建设开放服务平台,完善服务配套,发布服务指南,为传统机电技术和生物医药领域广大中小企业提供中试服务。主要开发和服务内容是多层微细柔性电极加工制备、parylene工艺沉积、封装等技术。已完成九种成套工艺规范化开发工作,分别形成了规范化工艺模块:镍基多层金属微结构集成制造工艺;平面线圈的制作工艺流程PDMS成型技术标准工;锌牺牲层标准工艺;Parylene微结构集成制造工艺;聚酰亚胺微结构集成制造工艺;UV-LIGA技术标准工艺;DEM技术标准工艺;PDMS微模具制备技术标准工艺。形成了金属材料和金属与聚合物材料微加工单元工艺开发与批量制造技术两类成套工艺。

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